Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45631
Title: Влияние плазмообразования на формирование потока материала в процессе магнетронного распыления
Authors: Шекелевский, В. В.
Keywords: авторефераты диссертаций;плазмообразование;магнетронное распыление
Issue Date: 2021
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Шекелевский, В. В. Влияние плазмообразования на формирование потока материала в процессе магнетронного распыления : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / В. В. Шекелевский ; науч. рук. Д. А. Котов. – Минск : БГУИР, 2021. – 7 с.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45631
Appears in Collections:1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Shekelevskii_Vliyanie.pdf956.28 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.