https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45631| Title: | Влияние плазмообразования на формирование потока материала в процессе магнетронного распыления |
| Authors: | Шекелевский, В. В. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;плазмообразование;магнетронное распыление |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шекелевский, В. В. Влияние плазмообразования на формирование потока материала в процессе магнетронного распыления : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / В. В. Шекелевский ; науч. рук. Д. А. Котов. – Минск : БГУИР, 2021. – 7 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45631 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Shekelevskii_Vliyanie.pdf | 956.28 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.