Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45984
Title: Анализ отказа интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком
Authors: Кабак, Т. В.
Keywords: публикации ученых;инегральные микросхемы;ионные пучки;микроскопы
Issue Date: 2021
Publisher: ООО "Международный центр науки и образования", РФ
Citation: Кабак, Т. В. Анализ отказа интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком / Кабак Т. В. // Студенческий форум. – 2021. – № 36(172). – С. 42–43.
Abstract: В современном мире повсеместно применяются электронные устройства, основой которых являются ИМС различной степени сложности. При производстве ИМС проводится постоянный контроль качества её структуры на различных этапах формирования, так как соответствие параметров элементной базы ИМС конструкторской и технологической документации является крайне важным фактором. В случае отклонения параметров ИМС от требуемых значений проводится корректировка технологического процесса изготовления для получения планового процента выхода годных кристаллов.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45984
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kabak_Analiz3.pdf515.65 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.