Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45985
Title: Ионно-лучевые технологии как средство анализа топологии интегральной микросхемы (ИМС)
Authors: Кабак, Т. В.
Keywords: публикации ученых;ионно-лучевые технологии;интегральные микросхемы;ионные микроскопы
Issue Date: 2021
Publisher: ООО "Международный центр науки и образования", РФ
Citation: Кабак, Т. В. Ионно-лучевые технологии как средство анализа топологии интегральной микросхемы (ИМС) / Кабак Т. В. // Студенческий форум. – 2021. – № 37(173). – С. 81–82.
Abstract: Современные ионно-лучевые технологии предоставляют возможность решения не только задач избирательного препарирования ИМС, но и дают доступ к ранее невозможным операциям ремонта и модификации сложных объектов посредством локальной реконструкции.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45985
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kabak_Ionno_luchevyye.pdf523.73 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.