https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45985| Title: | Ионно-лучевые технологии как средство анализа топологии интегральной микросхемы (ИМС) |
| Authors: | Кабак, Т. В. |
| Keywords: | публикации ученых;ионно-лучевые технологии;интегральные микросхемы;ионные микроскопы |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | ООО "Международный центр науки и образования" |
| Citation: | Кабак, Т. В. Ионно-лучевые технологии как средство анализа топологии интегральной микросхемы (ИМС) / Кабак Т. В. // Студенческий форум. – 2021. – № 37(173). – С. 81–82. |
| Abstract: | Современные ионно-лучевые технологии предоставляют возможность решения не только задач избирательного препарирования ИМС, но и дают доступ к ранее невозможным операциям ремонта и модификации сложных объектов посредством локальной реконструкции. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45985 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kabak_Ionno_luchevyye.pdf | 523.73 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.