Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45987
Title: Анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком
Authors: Кабак, Т. В.
Keywords: публикации ученых;интегральные микросхемы;ионные пучки;ионные микроскопы
Issue Date: 2021
Publisher: Молодіжна навукова ліга, Украина
Citation: Кабак, Т. В. Анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком / Кабак Т. В. // Концепт науки XXI: стратегії, методи та наукові інструменти : матеріали II Міжнародної студентської наукової конференції, Херсон, 12 листопада 2021 р. – Херсон : Молодіжна навукова ліга, 2021. – Т. 1. – С. 90–91.
Abstract: Проводится анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45987
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kabak_Analiz2.pdf667.39 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.