Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45987
| Title: | Анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком |
| Authors: | Кабак, Т. В. |
| Keywords: | публикации ученых;интегральные микросхемы;ионные пучки;ионные микроскопы |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Молодіжна навукова ліга |
| Citation: | Кабак, Т. В. Анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком / Кабак Т. В. // Концепт науки XXI: стратегії, методи та наукові інструменти : матеріали II Міжнародної студентської наукової конференції, Херсон, 12 листопада 2021 р. – Херсон : Молодіжна навукова ліга, 2021. – Т. 1. – С. 90–91. |
| Abstract: | Проводится анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45987 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
