https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46608| Название: | Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления |
| Авторы: | Кабак, Т. В. Петлицкая, Т. В. |
| Ключевые слова: | публикации ученых;ионно-лучевые технологии;интегральные микросхемы;микросхемы |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издательство: | Центр фінансово-економічних наукових досліджень |
| Описание: | Кабак, Т. В. Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления / Кабак Т. В., Петлицкая Т. В. // Стан, проблеми та перспективи розвитку науки, освіти та технологій : збірник тез доповідей Міжнародної науково-практичної конференції, Полтава, 12 листопада 2021 р. – Полтава : ЦФЕНД, 2021. – С. 48. |
| Аннотация: | Современные ионно-лучевые технологии предоставляют возможность не только избирательно препарировать ИМС, но также позволяют осуществлять модификацию или ремонт сложных объектов посредством сверхлокальной реконструкции. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46608 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Kabak_Vyyavleniye.pdf | 86.7 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.