https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46608| Title: | Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления |
| Authors: | Кабак, Т. В. Петлицкая, Т. В. |
| Keywords: | публикации ученых;ионно-лучевые технологии;интегральные микросхемы;микросхемы |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Центр фінансово-економічних наукових досліджень, Украина |
| Citation: | Кабак, Т. В. Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления / Кабак Т. В., Петлицкая Т. В. // Стан, проблеми та перспективи розвитку науки, освіти та технологій : збірник тез доповідей Міжнародної науково-практичної конференції, Полтава, 12 листопада 2021 р. – Полтава : ЦФЕНД, 2021. – С. 48. |
| Abstract: | Современные ионно-лучевые технологии предоставляют возможность не только избирательно препарировать ИМС, но также позволяют осуществлять модификацию или ремонт сложных объектов посредством сверхлокальной реконструкции. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46608 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kabak_Vyyavleniye.pdf | 86.7 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.