Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46608
Title: Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления
Authors: Кабак, Т. В.
Петлицкая, Т. В.
Keywords: публикации ученых;ионно-лучевые технологии;интегральные микросхемы;микросхемы
Issue Date: 2021
Publisher: Центр фінансово-економічних наукових досліджень, Украина
Citation: Кабак, Т. В. Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления / Кабак Т. В., Петлицкая Т. В. // Стан, проблеми та перспективи розвитку науки, освіти та технологій : збірник тез доповідей Міжнародної науково-практичної конференції, Полтава, 12 листопада 2021 р. – Полтава : ЦФЕНД, 2021. – С. 48.
Abstract: Современные ионно-лучевые технологии предоставляют возможность не только избирательно препарировать ИМС, но также позволяют осуществлять модификацию или ремонт сложных объектов посредством сверхлокальной реконструкции.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46608
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kabak_Vyyavleniye.pdf86.7 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.