https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47158| Title: | Использование ионного травления металла для улучшения адгезии DLC-покрытий, получаемых методом HiPIMS |
| Other Titles: | Use of ion etching of metal to improve the adhesion of DLC-coatings obtained by HiPIMS method |
| Authors: | Пигаль, Р. В. Боровиков, С. М. Лагуцкий, И. А. Терещук, О. И. |
| Keywords: | публикации ученых;алмазоподобные покрытия;тонкоплёночные технологии;импульсное магнетронное распыление;diamond-like coating (DLC);thin-film technologies;pulsed magnetron sputtering |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Интернаука |
| Citation: | Использование ионного травления металла для улучшения адгезии DLC-покрытий, получаемых методом HiPIMS / Пигаль Р. В. [и др.] // Интернаука. – №11(234), ч. 2. - 2022. – С. 60 – 64. |
| Abstract: | Целью работы являлась оценка влияния предварительного травления стальной подложки на адгезию алмазоподобного покрытия (DLC-покрытия). Исследовалась морфология и микроструктура образцов по фотографиям, получаемым с помощью сканирующего электронного микроскопа. Установлено, что методы магнетронного распыления импульсами высокой мощности (англоязычное сокращение HiPIMS) с предварительным травлением материалами Cr (хром) и Ti (титан) при отрицательном смещением на подложке показывают лучшие результаты, нежели травление ионами Ar (аргон). |
| Alternative abstract: | The aim of this work was to evaluate the effect of pre-etching of a steel substrate on the adhesion of a diamond-like coating (DLC-coating). The morphology and microstructure of the samples were studied using photographs taken with a scanning electron microscope. It has been established that the methods of magnetron sputtering with high-power pulses (abbreviated in English as HiPIMS) with preliminary etching with Cr (chromium) and Ti (titanium) materials with a negative bias on the substrate show better results than etching with Ar (argon) ions. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47158 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pigal_Ispolzovaniye.pdf | 567.86 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.