| Title: | Быстрые термические процессы в технологии создания электронной элементной базы для аэрокосмической техники |
| Authors: | Солодуха, В. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;аэрокосмическая техника;барьеры Шоттки |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Солодуха, В. А. Быстрые термические процессы в технологии создания электронной элементной базы для аэрокосмической техники : автореф. дисс. ... доктора технических наук : 05.27.01 / В. А. Солодуха ; науч. рук. В. А. Пилипенко. – Минск : БГУИР, 2020. – 46 с. |
| Abstract: | Целью работы является установление закономерностей влияния быстрой термической обработки на поверхностные свойства кремния, диэлектрические и ионно-легированные слои, твердофазный синтез PtSi и разработка технологических процессов, обеспечивающих улучшение электрических характеристик элементной базы для аэрокосмической техники. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48255 |
| Appears in Collections: | 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
|
