Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4872
Title: Формирование пористого кремния методом импульсного электрохимического анодирования
Authors: Чубенко, Е. Б.
Редько, С. В.
Шерстнев, А. И.
Петрович, В. А.
Бондаренко, В. П.
Keywords: пористый кремний;импульсное электрохимическое анодирование;полупроводниковая пористая матрица
Issue Date: 2015
Publisher: БГУИР
Citation: Формирование пористого кремния методом импульсного электрохимического анодирования / Е. Б. Чубенко [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2015. - № 3 (89). - С. 11 - 17.
Abstract: Приведены результаты формирования слоев пористого кремния в пластинах монокристаллического кремния методом электрохимического анодирования с использованием импульсного гальваностатического режима. Установлены закономерности изменения структурных свойств пористого кремния в зависимости от параметров режимов формирования. Показано, что полученные данным методом слои пористого кремния характеризуются более однородной структурой, чем полученные в стационарном гальваностатическом режиме анодирования. В разработанных импульсных режимах сформированы матрицы пористого кремния с аспектным соотношением пор до 1:500.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4872
Appears in Collections:№3 (89)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Chubenko_Formirovaniye.PDF1.23 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.