https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4904| Title: | Исследование оптических характеристик слоев AlN, полученных методами реактивного магнетронного и ионно-лучевого распыления |
| Other Titles: | Optical characteristics of AlN thin films deposited by DC magnetron and ion-beam sputtering study |
| Authors: | Ермоленко, М. В. Достанко, А. П. Голосов, Д. А. Завадский, С. М. |
| Keywords: | доклады БГУИР;нитрид алюминия;ионно-лучевое распыление;магнетронное распыление;коэффициент поглощения;показатель преломления |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Исследование оптических характеристик слоев AlN, полученных методами реактивного магнетронного и ионно-лучевого распыления / М. В. Ермоленко [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2015. - № 5 (91). - С. 119 - 121. |
| Abstract: | Исследованы оптические характеристики тонких пленок нитрида алюминия, нанесенных методами реактивного магнетронного и реактивного ионно-лучевого распыления. Установлены зависимости показателя преломления и коэффициента поглощения пленок от процентного содержания азота в смеси рабочих газов. Выявлено, что метод реактивного магнетронного распыления позволяет наносить слои нитрида алюминия с более низким коэффициентом поглощения, чем метод реактивного ионно-лучевого распыления и с коэффициентом преломления близким к значению объемного образца. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4904 |
| Appears in Collections: | №5 (91) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ermolenko_Issledovaniye.PDF | 745.11 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.