| Title: | Методы автоматического контроля топологии планарных структур и их реализация в электронном машиностроении |
| Other Titles: | Technique of automatic inspection of planar structure layouts and their realization in electronic machine building |
| Authors: | Аваков, С. М. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;микроэлектроника;прецизионное технологическое оборудование;автоматический контроль топологии;планарные структуры;электронное машиностроение;формирование контура;определение связности;классификация дефектов;microelectronics;precision process equipment;layout automatic inspection;planar structures;electronic machine building;forming of profiles;determination of connectivity;classification of defects |
| Issue Date: | 2002 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Аваков, С. М. Методы автоматического контроля топологии планарных структур и их реализация в электронном машиностроении: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / С. М. Аваков; науч. рук. В. А. Чердынцев. - Мн.: БГУИР, 2002. - 22 с. |
| Abstract: | Целью настоящей работы явилась разработка метода выбора способа автоматического контроля топологии и создание алгоритмической основы для быстрой обработки изображений планарных структур при автоматическом контроле топологии изделий электронной техники, а также практическая реализация на этой базе установки автоматического контроля оригиналов топологии СБИС. |
| Alternative abstract: | This work was aimed at a development of the technique selection methods for the layout automatic inspection and creation of an algorithmic basis for fast planar structure image processing during VLSI layout automatic inspection, as well as a practical realization on this basis of a VLSI masters layout automatic inspection system. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/4978 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
