https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49887| Title: | Способ изготовления межкомпонентной изоляции интегральных микросхем |
| Other Titles: | Пат. 6943 Респ. Беларусь |
| Authors: | Лыньков, Л. М. Болдышева, И. П. Прудник, А. М. |
| Keywords: | патенты;микроэлектроника;полупроводниковые микросхемы;интегральные микросхемы |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Citation: | Способ изготовления межкомпонентной изоляции интегральных микросхем : пат. 6943 Респ. Беларусь : МПК H 01L 21/76 / Лыньков Л. М., Болдышева И. П., Прудник А. М. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 19990581 ; заявл. 10.06.1999 ; опубл. 30.03.2005. – 4 с. |
| Abstract: | Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии полупроводниковых интегральных микросхем (ИМС). |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49887 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_6943.pdf | 96.81 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.