Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50368
| Title: | Устройство для контроля подложки микросхемы, преимущественно при анодировании в ванне с электролитом |
| Other Titles: | А. с. 871260 СССР |
| Authors: | Суходольский, А. М. |
| Keywords: | патенты;микроэлектроника;тонкие пленки;диэлектрические пленки |
| Issue Date: | 1981 |
| Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
| Citation: | Устройство для контроля подложки микросхемы, преимущественно при анодировании в ванне с электролитом : а. с. 871260 СССР : МПК H 01 L 21/70 / Суходольский А. М. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 2723226/18-21 ; заявл. 05.02.1979 ; опубл. 07.10.1981. – 3 с. |
| Abstract: | Изобретение относится к микроэлектронике, в частности, к технологии создания активных и пассивных тонкопленочных элементов, построенных на основе тонких диэлектрических пленок. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50368 |
| Appears in Collections: | Изобретения
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
