Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5038
Title: Разработка и исследование прецизионных координатных систем на базе линейных шаговых двигателей для электронного машиностроения
Other Titles: Development and Research of Precision Coordinate Systems with Linear Stepping Motors for Electronic Machinery
Authors: Межинский, Ю. С.
Mezhinsky Yu. S.
Keywords: микроэлектроника;прецизионное технологическое оборудование;гибкий автоматизированный комплекс;линейный шаговый двигатель;точность позиционирования;калибровка;математическое моделирование;microelectronics;precision technological equipment;flexible automated complex;linear stepping motor;positioning accuracy;calibration;mathematical modeling
Issue Date: 2000
Publisher: БГУИР
Citation: Межинский, Ю. С. Разработка и исследование прецизионных координатных систем на базе линейных шаговых двигателей для электронного машиностроения : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Ю. С. Межинский; науч. рук. С. Е. Карпович. - Минск : БГУИР, 2000. - 22 с.
Abstract: Целью работы являлось повышение точностных, динамических и эксплуатационных характеристик прецизионных координатных систем на базе ЛШД путем математического моделирования, программных средств проектирования, корректирующих алгоритмов и их реализации в системе управления многокоординатного шагового привода для гибкого технологического оборудования в микроэлектронике.
Alternative abstract: Purpose of the work is to increase accuracy, dynamic and operating performances of precision coordinate systems with linear stepping motors by means of mathematical modeling, software for computer-aided design, calibration algorithms and their implementation in control systems of multi-coordinate stepping drives for flexible technological equipment in microelectronics.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5038
Appears in Collections:05.27.07 Оборудование производства электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
k_avt_Mez.pdf1.42 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.