https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5038| Title: | Разработка и исследование прецизионных координатных систем на базе линейных шаговых двигателей для электронного машиностроения |
| Other Titles: | Development and Research of Precision Coordinate Systems with Linear Stepping Motors for Electronic Machinery |
| Authors: | Межинский, Ю. С. Mezhinsky Yu. S. |
| Keywords: | микроэлектроника;прецизионное технологическое оборудование;гибкий автоматизированный комплекс;линейный шаговый двигатель;точность позиционирования;калибровка;математическое моделирование;microelectronics;precision technological equipment;flexible automated complex;linear stepping motor;positioning accuracy;calibration;mathematical modeling |
| Issue Date: | 2000 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Межинский, Ю. С. Разработка и исследование прецизионных координатных систем на базе линейных шаговых двигателей для электронного машиностроения : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Ю. С. Межинский; науч. рук. С. Е. Карпович. - Минск : БГУИР, 2000. - 22 с. |
| Abstract: | Целью работы являлось повышение точностных, динамических и эксплуатационных характеристик прецизионных координатных систем на базе ЛШД путем математического моделирования, программных средств проектирования, корректирующих алгоритмов и их реализации в системе управления многокоординатного шагового привода для гибкого технологического оборудования в микроэлектронике. |
| Alternative abstract: | Purpose of the work is to increase accuracy, dynamic and operating performances of precision coordinate systems with linear stepping motors by means of mathematical modeling, software for computer-aided design, calibration algorithms and their implementation in control systems of multi-coordinate stepping drives for flexible technological equipment in microelectronics. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5038 |
| Appears in Collections: | 05.27.07 Оборудование производства электронной техники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| k_avt_Mez.pdf | 1.42 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.