https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50559| Title: | Просвечивающий электронный микроскоп |
| Other Titles: | А. с. 1035679 А СССР |
| Authors: | Левчук, И. Е. Достанко, А. П. Ширипов, В. Я. Егоров, В. Н. |
| Keywords: | патенты;микроскопия;кинетика;ионное воздействие |
| Issue Date: | 1983 |
| Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
| Citation: | Просвечивающий электронный микроскоп : а. с. 1035679 А СССР : МПК G 06 F 7/52 / Левчук И. Е., Достанко А. П., Ширипов В. Я., Егоров В. Н. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3361602/18-21; заявл. 26.11.1981 ; опубл. 15.08.1983 – 4 с. : ил. |
| Abstract: | Изобретение относится к просвечивающей электронной микроскопии и может найти применение при экспериментальных исследованиях кинетики изменения структуры и состава тонких пленок в процессе их формирования методом ионного распыления мишени при одновременной бомбардировке поверхности подложек. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50559 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_1035679.pdf | 351.62 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.