https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50774| Title: | Способ активного контроля толщины и скорости нанесения пленки |
| Other Titles: | А. с. 1177663 А СССР |
| Authors: | Колбун, В. С. Захаров, В. И. |
| Keywords: | патенты;контрольно-измерительная техника;измерительная техника |
| Issue Date: | 1985 |
| Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
| Citation: | Способ активного контроля толщины и скорости нанесения пленки : а. с. 1177663 А СССР : МПК G 01 B 15/02 / Колбун В. С., Захаров В. И. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3708001/24-28 ; заявл. 06.03.1984 ; опубл. 07.09.1985. – 2 с. |
| Abstract: | Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины и скорости роста пленки в процессе ее нанесения на подложку. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50774 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_1177663.pdf | 91.68 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.