Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5081
Title: Увеличение механического импульса в микроэлектромеханических системах, использующих энергию горения нанопористого кремния
Other Titles: Mechanical impulse enhancement in MEMS using porous silicon combustion process
Authors: Долбик, А. В.
Зубов, А. Ю.
Крисевич, С. Н.
Сычевич, А. С.
Короткевич, А. В.
Лазарук, С. К.
Лабунов, В. А.
Keywords: доклады БГУИР;нанопористый кремний;окислитель;механический импульс
Issue Date: 2015
Publisher: БГУИР
Citation: Увеличение механического импульса в микроэлектромеханических системах, использующих энергию горения нанопористого кремния / А. В. Долбик [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2015. - № 6 (92). - С. 90 - 93.
Abstract: Процесс горения нанопористого кремния с межпоровым пространством, заполненным твердотельным окислителем, исследовался с целью его использования в качестве источника энергии для механического движения микроэлектромеханических систем с реактивной тягой. Исследования показали, что механический импульс микросистемы с кремниевым чипом площадью 1 см2 может быть увеличен до 130 мН с за счет увеличения объема нанопористого кремния, а также за счет увеличения массы несущей платформы.Nanostructured porous silicon impregnated by solid state oxidants has been studied in order to provide the mechanical impulse for jet-propulsion microsystems. The system with jet-propulsion movement on a silicon chip has been used for impulse measurements. The estimated impulse value is in the range of 25-130 mN·s by using of carrying platform for Si chips.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5081
Appears in Collections:№6 (92)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Dolbik_Uvelicheniye.PDF806.09 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.