https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50824| Title: | Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок |
| Other Titles: | А. с. 624177 СССР |
| Authors: | Лыньков, Л. М. Соловьев, В. В. Паркун, В. М. Ворозов, Н. Н. |
| Keywords: | патенты;проводящие пленки;интегральные микросхемы;измерительная техника |
| Issue Date: | 1978 |
| Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
| Citation: | Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок : а. с. 624177 СССР : МПК G 01 R 27/02 / Л. М. Лыньков, В. В. Соловьев, В. М. Паркун, Н. Н. Ворозов ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 2472336/18-21; заявл. 06.04.1977 ; опубл. 15.09.1978 – 2 с. : ил. |
| Abstract: | Изобретение относится к области измерения электрических переменных величин и может быть использовано, например, в микроэлектронике для измерения сопротивления проводящих пленок в процессе изготовления интегральных микросхем. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50824 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_624177.pdf | 106.49 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.