| Title: | Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния |
| Other Titles: | Equipment and a technological process of monosilane production from apatite processing waste for the poly crystalline silicon manufacture |
| Authors: | Васюков, А. В. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;термолиз гексафторсиликата натрия;гидрирование кальция;гидрогенизация тетрафторида кремния;двухкамерный реактор барботажного типа;эвтектический расплав солей;thermolysis of sodium hexafluosilicate;calcium hydrogenation;silicon tetrafluoride hydrogenation;barbotage type bilocular reactor;eutectic melt of salts |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Васюков, А. В. Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / А. В. Васюков; науч. рук. А П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2006. - 22 с. |
| Abstract: | Целью работы является разработка высокоэффективного технохимического оборудования и технологического процесса получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллическош кремния гидрогенизацией тетрафторида кремния в эвтектическом расплаве солей. |
| Alternative abstract: | The aim of the work is the development of a highly efficient technological process of monosilane synthesis from apatite processing waste for a polyciystalline silicon manufacture by the silicon tetrafluoride hydrogenation in the ionic melt of salts. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5112 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
