Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item:
Title: Чувствительность к метану нанокомпозитных слоев SnO 2 (Ag) после импульсного лазерного облучения
Other Titles: Methane Sensitivity of Pulsed Laser Treated SnO 2 (Ag) Nanocomposite Layers
Authors: Прокопьев, С. Л.
Гайдук, П. И.
Keywords: доклады БГУИР;нанокомпозитные слои SnO 2 (Ag);магнетронные распыления;импульсная лазерная обработка;термическое окисление
Issue Date: 2023
Publisher: БГУИР
Citation: Прокопьев, С. Л. Чувствительность к метану нанокомпозитных слоев SnO 2 (Ag) после импульсного лазерного облучения=Methane Sensitivity of Pulsed Laser Treated SnO 2 (Ag) Nanocomposite Layers / С. Л. Прокопьев, П. И. Гайдук // Доклады БГУИР. – 2023. – Т. 21, № 2. – С. 5-13.
Abstract: Исследованы газочувствительные свойства слоев SnO 2 (Ag), полученных последовательным магнетронным распылением мишени Sn + Ag, окислением слоев Sn 0,65 Ag 0,35 при температуре 650 °С в течение 30 мин и модифицированных импульсами лазерного излучения с плотностью энергии W = 1,5–3,2 Дж/см 2 . Методами просвечивающей электронной микроскопии и просвечивающей электронной дифракции установлено, что слои Sn 0,65 Ag 0,35 и SnO 2 (Ag) являются нанокомпозитными со средним размером зерен 100–150 нм. В зависимости от режимов их получения слои содержат зерна с фазовым составом: тетрагональная фаза β-Sn с орторомбической фазой Ag 3 Sn (Sn 0,65 Ag 0,35 , магнетронное распыление) и тетрагональная фаза SnO 2 (касситерит) с гранецентрированной кубической структурой Ag (SnO 2 (Ag), термическое окисление). Чувствительность S слоев SnO 2 (Ag) к метану определялась при T = 200–360 °C в атмосфере воздуха с содержанием метана в диапазоне C CH4 = 2000–20 000 ppm. Показано, что импульсная лазерная обработка приводит к увеличению чувствительности S слоев SnO 2 (Ag) к метану до 12 % по сравнению с исходными слоями SnO 2 (Ag).
Alternative abstract: This paper reports on the gas sensitivity of SnO 2 (Ag) layers, consequently formed by magnetron sputte ring of Sn + Ag target, oxidation of Sn 0.65 Ag 0.35 layers at the temperature of 650 °С within 30 min and modified by laser radiation pulses at energy density of W = 1.5–3.2 J/cm 2 . Using transmission electron microscopy and transmission electron diffraction it was found, that Sn 0.65 Ag 0.35 and SnO 2 (Ag) layers are nanocomposite with average grain size of 100–150 nm. Sn 0.65 Ag 0.35 and SnO 2 (Ag) layers contain grains of the following phase composition: a tetragonal β-Sn with an orthorhombic Ag 3 Sn (Sn 0.65 Ag 0.35 , magnetron sputtering) and a tetragonal SnO 2 (cassiterite) with a face-centered cubic Ag structure (SnO 2 (Ag), thermal oxidation). The sensitivity of SnO 2 (Ag) layers with respect to 2000–20 000 ppm methane in the air was obtained from sensitivity S measurements at T = 200–360 ○ C. It is shown that pulsed laser annealing of SnO 2 (Ag) layers results in up to 12 % increase of sensitivity of SnO 2 (Ag) layers to methane in comparison with the initial SnO 2 (Ag) layers.
Appears in Collections:Том 21, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Prokopev_Chuvstvitelnost.pdf582.58 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.