| Title: | Оптические и механические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита |
| Other Titles: | Optical and mechanical characteristics of fluorocarbon coatings produced by reactive ion-beam sputtering of a graphite |
| Authors: | Потылкин, А. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;фторуглеродное покрытие;реактивное ионно-лучевое распыление;графит |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Потылкин, А. Н. Оптические и механические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита = Optical and mechanical characteristics of fluorocarbon coatings produced by reactive ion-beam sputtering of a graphite / Потылкин А. Н. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 531–533. |
| Abstract: | Исследовано влияние технологических режимов на оптические и механические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита. |
| Alternative abstract: | Тhe effect of technological regimes on the optical and mechanical characteristics of fluorocarbon coatings obtained by reactive ion-beam sputtering of a graphite target has been studied. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51487 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
