| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Шевчик, Е. В. | - |
| dc.contributor.author | Потылкин, А. Н. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-05-22T11:08:12Z | - |
| dc.date.available | 2023-05-22T11:08:12Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Шевчик, Е. В. Формирование фторуглеродных покрытий ионнолучевым распылением составной мишени = Formation of fluorocarbon coatings by ion-beam sputtering of a composite target / Шевчик Е. В. Потылкин А. Н. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 539–541. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51504 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние технологических режимов на оптические и гидрофобные свойства фторуглеродных покрытий, полученных ионно-лучевым распылением составной мишени из политетрафторэтилена и графита. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | фторуглеродные покрытия | ru_RU |
| dc.subject | ионно-лучевое распыление | ru_RU |
| dc.subject | оптические характеристики | ru_RU |
| dc.title | Формирование фторуглеродных покрытий ионнолучевым распылением составной мишени | ru_RU |
| dc.title.alternative | Formation of fluorocarbon coatings by ion-beam sputtering of a composite target | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | The effect of technological regimes on the optical and hydrophobic properties of fluorocarbon coatings obtained by ion-beam sputtering of a composite target of polytetrafluoroethylene and graphite has been studied. | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)
|
