https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51504| Title: | Формирование фторуглеродных покрытий ионнолучевым распылением составной мишени |
| Other Titles: | Formation of fluorocarbon coatings by ion-beam sputtering of a composite target |
| Authors: | Шевчик, Е. В. Потылкин, А. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;фторуглеродные покрытия;ионно-лучевое распыление;оптические характеристики |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шевчик, Е. В. Формирование фторуглеродных покрытий ионнолучевым распылением составной мишени = Formation of fluorocarbon coatings by ion-beam sputtering of a composite target / Шевчик Е. В. Потылкин А. Н. // Электронные системы и технологии : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2023. – С. 539–541. |
| Abstract: | Исследовано влияние технологических режимов на оптические и гидрофобные свойства фторуглеродных покрытий, полученных ионно-лучевым распылением составной мишени из политетрафторэтилена и графита. |
| Alternative abstract: | The effect of technological regimes on the optical and hydrophobic properties of fluorocarbon coatings obtained by ion-beam sputtering of a composite target of polytetrafluoroethylene and graphite has been studied. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/51504 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 59-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Shevchik_Formirovanie.pdf | 857.07 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.