Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5258
Title: Технология получения гранулированного кремния из моносилана в реакторе кипящего слоя
Other Titles: Technology of production granular silicon from monosilane in fluidized bed reactor
Authors: Кайдов, О. Л.
Kaidau, A. L.
Keywords: авторефераты диссертаций
термическое разложение моносилана
кипящий слой
закономерности роста гранул кремния
степень преобразования моносилана в поликристаллический кремний
monosilane thermal decomposition
fluidized bed
rules of silicon granules grows
transformation degree of monosilane to polycrystalline silicon
Issue Date: 2005
Publisher: БГУИР
Citation: Кайдов, О. Л. Технология получения гранулированного кремния из моносилана в реакторе кипящего слояавтореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / О. Л. Кайдов; науч. рук. А. П Достанко. - Мн.: БГУИР, 2005. - 22 с.
Abstract: Целью работы является разработка высокоэффективной технологии получения поликристаллического кремния из моносилана методом термического разложения моносилана в реакторе кипящего слоя.The aim of the work is development of high-efficient technology of producing polycrystalline silicon from monosilane by thermal decomposition of monosilane in fluidized bed reactor.
URI: http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5258
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5258
Appears in Collections:05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Кайдов О. Л. pdf.pdf1,09 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.