| Title: | Технология получения гранулированного кремния из моносилана в реакторе кипящего слоя |
| Other Titles: | Technology of production granular silicon from monosilane in fluidized bed reactor |
| Authors: | Кайдов, О. Л. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;термическое разложение моносилана;кипящий слой;закономерности роста гранул кремния;степень преобразования моносилана в поликристаллический кремний;monosilane thermal decomposition;fluidized bed;rules of silicon granules grows;transformation degree of monosilane to polycrystalline silicon |
| Issue Date: | 2005 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Кайдов, О. Л. Технология получения гранулированного кремния из моносилана в реакторе кипящего слояавтореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / О. Л. Кайдов; науч. рук. А. П Достанко. - Мн.: БГУИР, 2005. - 22 с. |
| Abstract: | Целью работы является разработка высокоэффективной технологии получения поликристаллического кремния из моносилана методом термического разложения моносилана в реакторе кипящего слоя. |
| Alternative abstract: | The aim of the work is development of high-efficient technology of producing polycrystalline silicon from monosilane by thermal decomposition of monosilane in fluidized bed reactor. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5258 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
