| Title: | Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением |
| Other Titles: | Formation of functional layers of silicon with nickel, cobalt, iron and palladium compounds by means of ion implantation and ion-plasma deposition |
| Authors: | Коробко, А. О. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;кремний;ионы Ni, Со, Fe;силицид никеля;парамагнетизм;термический отжиг;модель Миедема;теплота образования;термостабильность;silicon, Ni, Co, Fe;nickel silicide;paramagnetism;thermal annealing;Miedema's model;heat of formation;thermal stability |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Коробко, А. О. Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / А. О. Коробко; науч. рук. А. П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2009. - 19 с. |
| Abstract: | Цель работы заключается в создании функциональных микро- и наноразмерных слоев с заданными свойствами в твердотельных структурах путем модификации монокристаллического кремния металлами Ni, Со, Fe и Pd с помощью методов ионной имплантации и ионно-плазменного нанесения для интеграции изделий микроэлектроники и спинтроники. |
| Alternative abstract: | The aim consists in creation of functional micro- and nanosized layers with given properties in solid state structures by modifying the single crystal silicon by Ni, Co, Fe and Pd metals by means of ion implantation and ion-plasma deposition for integration of microelectronics and spintronics wares. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5276 |
| Appears in Collections: | 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
|
