Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5276
Title: Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением
Other Titles: Formation of functional layers of silicon with nickel, cobalt, iron and palladium compounds by means of ion implantation and ion-plasma deposition
Authors: Коробко, А. О.
Keywords: авторефераты диссертаций;кремний;ионы Ni, Со, Fe;силицид никеля;парамагнетизм;термический отжиг;модель Миедема;теплота образования;термостабильность;silicon, Ni, Co, Fe;nickel silicide;paramagnetism;thermal annealing;Miedema's model;heat of formation;thermal stability
Issue Date: 2009
Publisher: БГУИР
Citation: Коробко, А. О. Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / А. О. Коробко; науч. рук. А. П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2009. - 19 с.
Abstract: Цель работы заключается в создании функциональных микро- и наноразмерных слоев с заданными свойствами в твердотельных структурах путем модификации монокристаллического кремния металлами Ni, Со, Fe и Pd с помощью методов ионной имплантации и ионно-плазменного нанесения для интеграции изделий микроэлектроники и спинтроники.The aim consists in creation of functional micro- and nanosized layers with given properties in solid state structures by modifying the single crystal silicon by Ni, Co, Fe and Pd metals by means of ion implantation and ion-plasma deposition for integration of microelectronics and spintronics wares.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5276
Appears in Collections:05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Коробко Александра Олеговна.pdf1.37 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.