Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5277
Title: Тонкопленочные микросхемы на основе алюминия и его оксидов для криогенных температур
Other Titles: Thin-film micro-circuits based on aluminum and it's oxides for cryogenic temperatures
Authors: Короткевич, А. В.
Keywords: авторефераты диссертаций;тонкопленочная микросхема;криогенные температуры;алюминий;анодирование;анодная оксидная пленка;подложка;резистор;конденсатор;многоуровневые системы межсоединений;a thin-film microcircuit;cryogenic temperatures;aluminum;anodizing;anodic oxide film;substrate;resistor;capacitor;interconnection;multilevel systems
Issue Date: 2000
Publisher: БГУИР
Citation: Короткевич, А. В. Тонкопленочные микросхемы на основе алюминия и его оксидов для криогенных температур: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / А. В. Короткевич; науч. рук. Б.С. Колосницын. - Мн.: БГУИР, 2000. - 22 с.
Abstract: В результате проведенных исследований разработана технология, которая обеспечивает создание надежной высокофункциональной малогабаритной аппаратуры, предназначенной для работы при криогенных температурах, и наиболее полно использует все преимущества анодированного алюминия: высокую теплопроводность, механическую прочность и хорошую обрабатываемость.The technology providing the creation reliable, high-functional, small-sized apparatus for cryogenic temperatures and using all advantages of anodized aluminum: high heatconducting, mechanical strength and good machinability has been developed as a result of the researches.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5277
Appears in Collections:05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Короткевич.pdf1.58 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.