| Title: | Тонкопленочные микросхемы на основе алюминия и его оксидов для криогенных температур |
| Other Titles: | Thin-film micro-circuits based on aluminum and it's oxides for cryogenic temperatures |
| Authors: | Короткевич, А. В. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;тонкопленочные микросхемы;криогенные температуры;алюминий;анодирование;анодная оксидная пленка;конденсаторы;многоуровневые системы межсоединений;thin-film microcircuit;cryogenic temperatures;aluminum;anodizing;anodic oxide film;substrate;resistor;interconnection;multilevel systems |
| Issue Date: | 2000 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Короткевич, А. В. Тонкопленочные микросхемы на основе алюминия и его оксидов для криогенных температур : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / А. В. Короткевич ; науч. рук. Б.С. Колосницын. – Минск : БГУИР, 2000. – 22 с. |
| Abstract: | В результате проведенных исследований разработана технология, которая обеспечивает создание надежной высокофункциональной малогабаритной аппаратуры, предназначенной для работы при криогенных температурах, и наиболее полно использует все преимущества анодированного алюминия: высокую теплопроводность, механическую прочность и хорошую обрабатываемость. |
| Alternative abstract: | The technology providing the creation reliable, high-functional, small-sized apparatus for cryogenic temperatures and using all advantages of anodized aluminum: high heatconducting, mechanical strength and good machinability has been developed as a result of the researches. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5277 |
| Appears in Collections: | 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
|
