Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5280
Title: Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур
Other Titles: High current low energy ion sources for surface modification and thin film synthesis
Authors: Котов, Д. А.
Kotov, D. A.
Keywords: авторефераты диссертаций
низковольтный разряд
источник ионов
интегрированная ионно-плазменная система
модификация поверхности
синтез тонкопленочных структур
low voltage discharge
ion source
integrated ion-plasma system
surface modification
thin film structure synthesis
Issue Date: 2005
Publisher: БГУИР
Citation: Котов, Д. А. Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Д. А. Котов; науч. рук. А. П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2005. - 22 с.
Abstract: Целью работы является разработка сильноточных разрядных систем с замкнутым холловским током, исследование и совершенствование процессов высокоэффективной ионно-лучевой обработки.The aim of the work is the development of high-current gas-discharge ion sources with a closed Hall current, research and perfecting the processes of high efficacy ion-beam processing.
URI: http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5280
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5280
Appears in Collections:05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Котов.pdf1,43 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.