https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53229| Title: | Фотолитография в глубоком ультрафиолете |
| Authors: | Снопков, П. А. |
| Keywords: | материалы конференций;электронные технологии;фотолитография;ульрафиолетовый спектр |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Снопков, П. А. Фотолитография в глубоком ультрафиолете / П. А. Снопков // Научная конференция учащихся колледжа : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 17–21 апреля 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минский радиотехнический колледж ; редкол.: В. В. Шаталова [и др.]. – Минск : БГУИР, 2023. – С. 325–327. |
| Abstract: | Рассмотрен новейший метод фотолитографии с применением излучения в глубоком ультрафиолетовом спектре, технология и средства его обеспечения. Рассмотрены преимущества и недостатки в сравнении с другими методами. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53229 |
| Appears in Collections: | Научная конференция учащихся колледжа : материалы 59-й научной конференции (2023) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Snopkov_Fotolitografiya.pdf | 324.82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.