https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53257| Title: | Исследование влияния газовой среды при реактивном магнетронном распылении на распределение электрофизических свойств и толщины пленок оксидов |
| Authors: | Нгуен Ван Ту Ань |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;технические науки;пленки оксидов;микроэлектроника |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Нгуен Ван Ту Ань. Исследование влияния газовой среды при реактивном магнетронном распылении на распределение электрофизических свойств и толщины пленок оксидов : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-36 80 08 / Нгуен Ван Ту Ань ; науч. рук. Д. А. Голосов. – Минск : БГУИР, 2023. – 10 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53257 |
| Appears in Collections: | 1-36 80 08 Инженерная геометрия и компьютерная графика |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Nguen_Van_Tu_An_Issledovanie.pdf | 117.75 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.