| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Видрицкий, А. Э. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Петухов, И. Б. | - |
| dc.coverage.spatial | Санкт-Петербург | en_US |
| dc.date.accessioned | 2023-11-20T08:18:01Z | - |
| dc.date.available | 2023-11-20T08:18:01Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Видрицкий, А. Э. Разделение пластин на кристаллы лазерным скрайбированием / А. Э. Видрицкий, В. Л. Ланин, И. Б. Петухов // Технологии в электронной промышленности. – 2023. – № 1. – С. 44–46. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53684 | - |
| dc.description.abstract | Приведены режимы разделения пластин из сапфира толщиной 450 и 625 мкм на кристаллы лазерным скрайбированием на установках ЭМ-4452-1 и Кристалл-1 при энергии лазерного излучения до 100 мкДж. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | ООО «Медиа КиТ» | en_US |
| dc.subject | публикации ученых | en_US |
| dc.subject | пластины | en_US |
| dc.subject | скрайбирование | en_US |
| dc.subject | лазерные излучения | en_US |
| dc.title | Разделение пластин на кристаллы лазерным скрайбированием | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
