https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53684| Title: | Разделение пластин на кристаллы лазерным скрайбированием |
| Authors: | Видрицкий, А. Э. Ланин, В. Л. Петухов, И. Б. |
| Keywords: | публикации ученых;пластины;скрайбирование;лазерные излучения |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | ООО «Медиа КиТ» |
| Citation: | Видрицкий, А. Э. Разделение пластин на кристаллы лазерным скрайбированием / А. Э. Видрицкий, В. Л. Ланин, И. Б. Петухов // Технологии в электронной промышленности. – 2023. – № 1. – С. 44–46. |
| Abstract: | Приведены режимы разделения пластин из сапфира толщиной 450 и 625 мкм на кристаллы лазерным скрайбированием на установках ЭМ-4452-1 и Кристалл-1 при энергии лазерного излучения до 100 мкДж. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53684 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Vidrickii_Razdelenie.pdf | 348.16 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.