| Title: | Влияние ионного ассистирования на структуру и свойства поверхности нанометровых пленок сплава Al‒Fe |
| Authors: | Ташлыкова-Бушкевич, И. И. |
| Keywords: | публикации ученых;ионно-ассистированное осаждение;сканирующая микроскопия;зондовая микроскопия |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова |
| Citation: | Ташлыкова-Бушкевич, И. И. Влияние ионного ассистирования на структуру и свойства поверхности нанометровых пленок сплава Al‒Fe / И. И. Ташлыкова-Бушкевич // Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами : тезисы докладов 52-й международной Тулиновской конференции, Москва, 30 мая–1 июня, 2023 г. / Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Скобельцына ; редкол.: Н. Г. Чеченин [и др.]. – Москва, 2023. – С. 112. |
| Abstract: | В настоящей работе представлены результаты сравнительных исследований морфологии, топографии и смачивающих свойств нанометровых пленок слаболегированного сплава Al‒Fe в зависимости от режима осаждения на стеклянные подложки с использованием резонансного ионного источника вакуумной электродуговой плазмы. Установлены количественные соотношения, связывающие микрогеометрию поверхности пленок сплава Al‒Fe с условиями осаждения. Обнаруженные закономерности эволюции субмикронной конусообразной морфологии пленок при ионно-ассистированном осаждении позволили определить, что смачивание пленок дистиллированной водой имеет гетерогенный характер и описывается моделью Касси-Бакстера. Полученные результаты показывают, как использование ионно-плазменных технологий при формировании тонкопленочных структур позволяет в широких пределах управлять их физико-химическими и эксплуатационными свойствами. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53821 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
