Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56753
Название: Исследование процессов низкотемпературного осаждения тонких пленок диоксида ванадия для изготовления микроболометров
Авторы: Коченов, Е. Г.
Шебеко, В. Н.
Ключевые слова: материалы конференций;электрохимическое осаждение;металл-изоляторы;микроболометры
Дата публикации: 2024
Издательство: БГУИР
Описание: Коченов, Е. Г. Исследование процессов низкотемпературного осаждения тонких пленок диоксида ванадия для изготовления микроболометров / Е. Г. Коченов, В. Н. Шебеко // 60-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов учреждения образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» : материалы конференции, Минск, 22–26 апреля 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. Р. Стемпицкий [и др.]. – Минск, 2024. – С. 62–66.
Аннотация: Рассмотрены основные электрофизические характеристики и низкотемпературные методы осаждения тонких пленок диоксида ванадия для создания активных электронных элементов с фазовым переходом металл-изолятор. Разработаны процессы электрохимического осаждения пленок оксида ванадия на подложках кремний-диоксид титана. Установлено ориентирующее влияние подложки на процесс кристаллизации и температуры отжига на размер зерен полученных пленок.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56753
Располагается в коллекциях:60-я научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР (2024)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Kochenov_Issledovanie.pdf2.01 MBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание Просмотр статистики Google Scholar

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.