https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56753| Title: | Исследование процессов низкотемпературного осаждения тонких пленок диоксида ванадия для изготовления микроболометров |
| Authors: | Коченов, Е. Г. Шебеко, В. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;электрохимическое осаждение;металл-изоляторы;микроболометры |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Коченов, Е. Г. Исследование процессов низкотемпературного осаждения тонких пленок диоксида ванадия для изготовления микроболометров / Е. Г. Коченов, В. Н. Шебеко // 60-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов учреждения образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» : материалы конференции, Минск, 22–26 апреля 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. Р. Стемпицкий [и др.]. – Минск, 2024. – С. 62–66. |
| Abstract: | Рассмотрены основные электрофизические характеристики и низкотемпературные методы осаждения тонких пленок диоксида ванадия для создания активных электронных элементов с фазовым переходом металл-изолятор. Разработаны процессы электрохимического осаждения пленок оксида ванадия на подложках кремний-диоксид титана. Установлено ориентирующее влияние подложки на процесс кристаллизации и температуры отжига на размер зерен полученных пленок. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56753 |
| Appears in Collections: | 60-я научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР (2024) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kochenov_Issledovanie.pdf | 2.01 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.