https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56774| Title: | Formation of microwave discharge |
| Authors: | Barkouskaya, K. M. |
| Keywords: | материалы конференций;microwave discharge;microwave plasma;plasmatron |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Barkouskaya, K. M. Formation of microwave discharge / K. M. Barkouskaya // Электронные системы и технологии : сборник материалов 60-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 22–26 апреля 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2024. – С. 663–665. |
| Abstract: | Microwave plasma technology (MPT) is widely used i nsemiconductor processing. Development of constructions of devices that form microwave discharge leads to make processing more effective. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56774 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 60-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2024) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Barkouskaya_Formation.pdf | 704.71 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.