https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58355| Title: | Технологические аспекты производства изделий субмикронной электроники |
| Authors: | Буслюк, В. В. Видрицкий, А. Г. Голосов, Д. А. Емельянов, В. В. Завадский, С. М. Ланин, В. Л. Мадвейко, С. И. Петухов, И. Б. Соловьев, Я. А. Телеш, Е. В. Юник, А. Д. |
| Keywords: | публикации ученых;субмикронная электроника;производство;технологии;микроэлектроника |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | Бестпринт |
| Citation: | Технологические аспекты производства изделий субмикронной электроники / В. В. Буслюк, А. Г. Видрицкий, Д. А. Голосов [и др.] ; под ред. д-ра техн. В. Л. Ланина. – Минск : Бестпринт, 2024. – 266 с. |
| Abstract: | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области формирования тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью в субмикронных КМОП интегральных схемах, активных компонентов интегральных схем селективным реактивно-ионным травлением многоуровневой металлизации, омических контактов к субмикронным структурам, ионно-пучкового синтеза функциональных тонкопленочных покрытий, вакуумного монтажа кристаллов и герметизации изделий субмикронной электроники |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58355 |
| ISBN: | 978-985-7267-34-7 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Tekhnologicheskie.pdf | 846.3 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.