https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58991| Title: | Кинетика инжекционного отжига междоузельных атомов кремния в р-области кремниевых n+-p-структур, облученных альфа-частицами |
| Other Titles: | Kinetics of injection annealing of interstitial silicon atoms in the p-region of silicon n+-p-structures irradiated with alpha particles |
| Authors: | Жданович, Д. Н. Медведева, И. Ф. Фадеева, Е. А. Огородников, Д. А. |
| Keywords: | материалы конференций;кремний-германиевый сплав;альфа-частицы;радиационно-индуцированный центр;инжекция |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Кинетика инжекционного отжига междоузельных атомов кремния в р-области кремниевых n+-p-структур, облученных альфа-частицами = Kinetics of injection annealing of interstitial silicon atoms in the p-region of silicon n+-p-structures irradiated with alpha particles / Д. Н. Жданович, И. Ф. Медведева, Е. А. Фадеева, Д. А. Огородников // Медэлектроника–2024. Средства медицинской электроники и новые медицинские технологии : сборник научных статей XIV Международной научно-технической конференции, Минск, 5–6 декабря 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники [и др.]. – Минск, 2024. – С. 124–127. |
| Abstract: | Изучена кинетика инжекционного отжига собственных междоузельных атомов кремния в двукратно положительном зарядовом состоянии в р-области кремниевых n+-p-структур, облученных альфа-частицами. Показано, что зависимости концентрации дефектов от прошедшего через n+-p- структуру электрического заряда Q имеют нелинейный характер. |
| Alternative abstract: | The kinetics of injection annealing of intrinsic interstitial silicon atoms in a doubly positive charge state in the p-region of silicon n+-p-structures irradiated with alpha particles was studied. It was shown that the dependences of the defect concentration on the electric charge Q passed through the n+-p-structure are nonlinear. Keywords: silicon-germanium alloy; alpha particle; deep level; radiation-induced center; DLTS spectroscopy. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58991 |
| Appears in Collections: | Медэлектроника - 2024 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ZHdanovich_Kinetika.pdf | 961.86 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.