https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/59166| Title: | Тонкопленочные сенсоры с газочувствительным слоем In2O3–Ga2O3 на подложке из анодного оксида алюминия |
| Other Titles: | Thin-film sensors with a gas-sensitive layer of In2O3–Ga2O3 on a substrate of anodic alumina |
| Authors: | Горох, Г. Г. Таратын, И. А. Федосенко, В. С. Эм, М. Реутская, О. Г. |
| Keywords: | публикации ученых;оксидные полупроводники;наноматериалы;газовые сенсоры;анодный оксид алюминия |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х. М. Бербекова |
| Citation: | Тонкопленочные сенсоры с газочувствительным слоем In2O3–Ga2O3 на подложке из анодного оксида алюминия = Thin-film sensors with a gas-sensitive layer of In2O3–Ga2O3 on a substrate of anodic alumina / Г. Г. Горох, И. А. Таратын, В. С. Федосенко [др.] // Микро- и нанотехнологии в электронике : материалы XIV Международной научно-технической конференции, Нальчик, 3−7 июня 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: А. М. Кармоков (отв. ред.), О. А. Молоканов. – Нальчик, 2024. – С. 306–311. |
| Abstract: | Представлены результаты практических испытаний маломощных тонкопленочных газовых микросенсоров, изготовленных на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Благодаря оригинальной конструкции и наноструктурированным газочувствительным слоям In2O3‒Ga2O3 датчики имели низкое энергопотребление и высокую чувствительность к 10 ppm H2 и 10 ppm CO. Датчики продемонстрировали высокие эксплуатационные характеристики; в частности, энергопотребление при измерениях не превышало 30–40 мВт, максимальная чувствительность по CO достигала 350 %, а по H2 до 140 %, время отклика составляло не более 10–15 с, а время регенерации – не более 20–25 с, высокая воспроизводимость измерений и стабильность работы, дрейф газочувствительных слоев составляет 3–5 % за несколько месяцев. |
| Alternative abstract: | The results of practical tests of low-power thin-film gas microsensors manufactured on nanoporous anodic alumina substrates are presented. Due to the original design and the nanostructured In2O3–Ga2O3 gas-sensitive layers, the sensors had low power consumption and a high sensitivity to 10 ppm H2 and 10 ppm CO. Sensors demonstrated high performance; in particular, the energy consumption during measurements did not exceed 30–40 mW, the maximum sensitivity for CO reached 350 %, and for H2 up to 140 %, the response time was no more than 10 – 15 sec., and the regeneration time – no longer than 20– 25 sec., high measurement reproducibility and operation stability, the drift of gas-sensitive layers was 3–5 % over several months. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/59166 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Fedosenko_Tonkoplenochnye.pdf | 305.33 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.