https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60123| Title: | Формирование плёнок оксида цинка ионно-лучевым распылением оксидной и металлической мишеней |
| Other Titles: | Formation of zinc oxide film by ion-ray spraying with oxide and metal targets |
| Authors: | Потылкин, А. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;коэффициент преломления;оксид цинка;тонкопленочные покрытия |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Потылкин, А. Н. Формирование плёнок оксида цинка ионно-лучевым распылением оксидной и металлической мишеней = Formation of zinc oxide film by ion-ray spraying with oxide and metal targets / А. Н. Потылкин // Электронные системы и технологии : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 21–25 апреля 2025 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2025. – С. 205–208. |
| Abstract: | Экспериментально исследовано различие свойств и особенностей формирования диэлектрических слоев оксида цинка, полученных ионно-лучевым распылением оксидной и металлической мишеней. |
| Alternative abstract: | Experimentally investigated the difference of properties and features of formation of dielectric layers of zinc oxide obtained by ion-ray spraying of oxide and metal targets. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60123 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 61-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Potylkin_Formirovanie.pdf | 856.26 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.