Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60229
Title: Исследование влияния очистки кремниевой подложки в атмосферной плазме на отражение тонких пленок хрома
Authors: Горбунова, М. А.
Яворчук, Г. В.
Михолап, А. А.
Логунов, К. Т.
Keywords: материалы конференций;тонкие пленки хрома;многослойные покрытия
Issue Date: 2025
Publisher: БГУИР
Citation: Исследование влияния очистки кремниевой подложки в атмосферной плазме на отражение тонких пленок хрома / М. А. Горбунова, Г. В. Яворчук, А. А. Михолап, К. Т. Логунов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–23 апреля 2025 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2025. – С. 266–267.
Abstract: Методом магнетронного распыления при постоянном токе были получены тонкие пленки хрома толщиной порядка 20 нм на подложках из кремния КДБ-12. Перед проведением напыления проводилась очистка в атмосферной плазме диэлектрического барьерного разряда. При помощи спектрофотометра МС-122 были получены спектры отражения данных пленок с различным временем предварительной обработки в атмосферной плазме (от 0 до 120 секунд). Установлено, что с увеличением времени предварительной обработки в атмосферной плазме коэффициент отражения напыляемой пленки хрома увеличивается с 46 % для образца без обработки до 51 % для 20,25 и 120 секунд обработки на длине волны 820 нм.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60229
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Gorbunova_Issledovanie.pdf535.85 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.