https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60498| Title: | Исследование влияния очистки в атмосферной плазме на оптические характеристики тонких пленок хрома |
| Authors: | Яворчук, Г. В. Горбунова, М. А. Михолап, А. А. Логунов, К. Т. |
| Keywords: | материалы конференций;атмосферная плазма;диэлетрические барьерные разряды;оптическое стекло |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Исследование влияния очистки в атмосферной плазме на оптические характеристики тонких пленок хрома / Г. В. Яворчук, М. А. Горбунова, А. А. Михолап, К. Т. Логунов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–23 апреля 2025 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2025. – С. 272–273. |
| Abstract: | В статье рассмотрено влияние предварительной очистки в атмосферной плазме диэлектрического барьерного разряда подложек из оптического стекла К8 на оптические характеристики тонких пленок хрома, формируемых методом магнетронного распыления при постоянном токе. Установлено, что с увеличением времени очистки подложек пропускание пленок хрома толщиной 20 нм уменьшается с 36 % для образца без очистки до 30 % для образцов обработанных 30 и 60 секунд на длине волны 550 нм. Также выявлено увеличение коэффициента отражения с 32 % без очистки до максимального значения 38 % для пленки обработанной 30 секунд на длине волны 550 нм. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/60498 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 61-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2025) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| YAvorchuk_Issledovanie.pdf | 735.18 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.