Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/61618
Title: Золь-гель синтез пленок титаната стронция и перспективы их применения для изготовления элементов электронной техники
Other Titles: Sol-gel synthesis of strontium titanate thin films and perspectives of their applications in production of elements of electronic device
Authors: Сохраби Анараки, Х.
Гапопненко, Н. В.
Руденко, М. В.
Завадский, С. М.
Голосов, Д. А.
Колосницын, Б. С.
Колос, В. В.
Петлицкий, А. Н.
Турцевич, А. С.
Keywords: доклады БГУИР;пленки;центрифугирование;ксерогели
Issue Date: 2013
Publisher: БГУИР
Citation: Золь-гель синтез пленок титаната стронция и перспективы их применения для изготовления элементов электронной техники = Sol-gel synthesis of strontium titanate thin films and perspectives of their applications in production of elements of electronic device / Х. Сохраби Анараки [и др.] // Доклады БГУИР. – 2013. – № 8 (78). – С. 10–15.
Abstract: Золь-гель методом получены пленки титаната стронция на подложках кремния. Фаза титаната стронция зарегистрирована методом рентгенофазового анализа после термообработки при температуре 750–1000 °С. Толщина пленок, полученных методом центрифугирования, изменяется от 90 до 250 нм в зависимости от числа формируемых слоев. Обсуждаются перспективы развития золь-гель метода для формирования пленочных элементов электронной техники, а также варисторов и конденсаторов, на основе ксерогелей SrTiO3.
Alternative abstract: The strontium titanate thin films were fabricated on silicon using the sol-gel method. The strontium titanate phase was registered with X-ray diffraction analysis after heat treatment in the temperature range 750–1000 °C. The films were deposited by spin-on technique and the film thickness was in the range of 90–250 nm depending on numbers of layer. The perspectives of developments of the sol-gel method for the formation of elements of electronic device as well as varistors and capacitors on the basis of SrTiO3 xerogels are discussed.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/61618
Appears in Collections:№8 (78)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Sohrabi_Zol'-gel'.pdf1.11 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.