Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/617
Title: Разрядные характеристики ионно-лучевого источника с анодным слоем
Authors: Роговский, Е. П.
Котов, Д. А.
Keywords: ионно-лучевой источник с анодным слоем;разрядные характеристики;коэффициент токовой эффективности;материалы конференций
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Роговский, Е. П. Разрядные характеристики ионно-лучевого источника с анодным слоем // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ–БГУИР (Минск, 18–19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2 / редкол. : А. Н. Осипов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2014. - C. 95-96
Abstract: Исследованы разрядные характеристики ионно-лучевого источника с анодным слоем в диапазоне напряжений разряда 1500-3500 В и расходов рабочего газа 2-7 sccm. Приведена зависимость коэффициента токовой эффективности от напряжения разряда.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/617
ISBN: 978-985-543-038-5
Appears in Collections:Секция «Микро- и наноэлектроника»

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
разрядные.pdf438.47 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.