https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/617| Title: | Разрядные характеристики ионно-лучевого источника с анодным слоем |
| Authors: | Роговский, Е. П. Котов, Д. А. |
| Keywords: | ионно-лучевой источник с анодным слоем;разрядные характеристики;коэффициент токовой эффективности;материалы конференций |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Роговский, Е. П. Разрядные характеристики ионно-лучевого источника с анодным слоем / Е. П. Роговский, Д. А. Котов // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ–БГУИР : материалы конференции, Минск, 18–19 марта 2014 г. : в 2 ч. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: А. Н. Осипов [и др.]. – Минск, 2014. – Ч. 2. – C. 95–96. |
| Abstract: | Исследованы разрядные характеристики ионно-лучевого источника с анодным слоем в диапазоне напряжений разряда 1500-3500 В и расходов рабочего газа 2-7 sccm. Приведена зависимость коэффициента токовой эффективности от напряжения разряда. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/617 |
| ISBN: | 978-985-543-038-5 |
| Appears in Collections: | Секция «Микро- и наноэлектроника» |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| разрядные.pdf | 438.47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.