https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/62610| Title: | Влияние параметров очистки в высокоплотной плазме аргона на морфологию поверхности стеклянных подложек и характеристики эмиссионного спектра |
| Other Titles: | The influence of cleaning parameters in high-density argon plasma on the surface morphology of glass substrates and the characteristics of the emission spectrum |
| Authors: | Лушакова, М. С. Мадвейко, С. И. Тихон, О. И. |
| Keywords: | доклады БГУИР;низкочастотные генераторы;комбинированные разряды;сверхвысокочастотные поля |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лушакова, М. С. Влияние параметров очистки в высокоплотной плазме аргона на морфологию поверхности стеклянных подложек и характеристики эмиссионного спектра = The influence of cleaning parameters in high-density argon plasma on the surface morphology of glass substrates and the characteristics of the emission spectrum / М. С. Лушакова, С. И. Мадвейко, О. И. Тихон // Доклады БГУИР. – 2025. – Т. 23, № 6. – С. 39–47. |
| Abstract: | Представлены результаты исследований влияния электромагнитной энергии сверхвысокочастотного диапазона на низкочастотную составляющую плазмы комбинированного (сверхвысокочастотного и низкочастотного) разряда. Экспериментально изучены выходные электрические параметры низкочастотного генератора и оптические характеристики плазмы комбинированного разряда среднего вакуума. Определено, что в процессе генерации разряда, сформированного при одновременном воздействии в едином разрядном объеме сверхвысокочастотных и низкочастотных полей при давлении 20–100 Па возможно проявление эффекта контрагирования низкочастотной составляющей комбинированного разряда. Данный эффект заключается в изменении под действием магнитного поля условий переноса тока в плазменном слое между электродами, что приводит к уменьшению амплитуды выходного напряжения низкочастотного генератора. Установлена зависимость изменения амплитуды напряжения низкочастотного генератора от выходной мощности источника питания сверхвысокочастотного генератора |
| Alternative abstract: | The article presents the results of a study examining the influence of microwave electromagnetic energy on the low-frequency component of a combined (microwave and low-frequency) discharge plasma. The output electrical parameters of a low-frequency generator and the optical characteristics of a combined medium-vacu um discharge plasma were experimentally studied. It was determined that, during the generation of a discharge formed by the simultaneous action of microwave and low-frequency fields in a single discharge volume at a pres sure of 20–100 Pa, a constriction effect of the low-frequency component of the combined discharge may occur. This effect consists of a change in the current transfer conditions in the plasma layer between the electrodes under the influence of a magnetic field, which leads to a decrease in the amplitude of the low-frequency generator output voltage. The dependence of the change in the voltage amplitude of the low-frequency generator on the output power of the microwave generator power source was established |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/62610 |
| DOI: | http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-6-39-47 |
| Appears in Collections: | Том 23, № 6 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lushakova_Issledovanie.pdf | 550.21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.