https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/63373| Title: | Разработка конфигурации системы освещения автоматических зондовых установок |
| Other Titles: | Development of a lighting system configuration for automatic probe stations |
| Authors: | Грицкевич, Г. И. Пашкевич, В. Э. Смолкин, Ю. А. Жук, Р. С. Лешко, А. С. Ловшенко, И. Ю. |
| Keywords: | материалы конференций;полупроводниковые пластины;микроскопия;зондовые установки |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Разработка конфигурации системы освещения автоматических зондовых установок = Development of a lighting system configuration for automatic probe stations / Г. И. Грицкевич, В. Э. Пашкевич, Ю. А. Смолкин [и др.] // Технические средства защиты информации : материалы ХXIV Международной научно-технической конференции, Минск, 8 апреля 2026 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники [и др.] ; редкол.: О. В. Бойправ [и др.]. – Минск, 2026. – С. 367–371. |
| Abstract: | Рассмотрена проблема конструктивных решений систем освещения автоматических зондовых установок для контроля полупроводниковых пластин. Проведен сравнительный анализ методов освещения. Обоснована комбинированная светодиодная конфигурация с кольцевой и боковой подсветкой, обеспечивающая точность и исключение термодеформации. |
| Alternative abstract: | The problem of design solutions for lighting systems of automatic probe stations for semiconductor wafer inspection is considered. A comparative analysis of lighting methods is carried out. A combined LED configuration with ring and side illumination is substantiated, ensuring accuracy and thermal stability. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/63373 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2026 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Grickevich_Razrabotka.pdf | 518.04 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.