| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Александрович, П. А. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.coverage.spatial | Гродно | en_US |
| dc.date.accessioned | 2026-05-05T06:38:04Z | - |
| dc.date.available | 2026-05-05T06:38:04Z | - |
| dc.date.issued | 2026 | - |
| dc.identifier.citation | Александрович, П. А. Моделирование нанесения тонкоплёночных слоёв коаксиальным магнетроном с цилиндрической мишенью на крупноформатные подложки / П. А. Александрович, Д. А. Голосов, С. Н. Мельников // Физика конденсированного состояния : материалы ХХХIV Международной научно-практической конференции студентов, магистрантов, аспирантов и молодых учёных, Гродно, 23–24 апреля 2026 г. / Гродненский государственный университет имени Янки Купалы ; редкол.: А. С. Воронцов (гл. ред.) [и др.]. – Гродно, 2026. – С. 200–202. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/63544 | - |
| dc.description.abstract | Разработана математическая модель для расчета толщины наносимых слоев при реактивном магнетронном распылении коаксиальными магнетронами с цилиндрической мишенью. Данная модель базируется на интегрировании плотности
распыленного потока с каждой точки зоны распыления и позволяет рассчитать скорость нанесения слоев и толщину покрытия в любой точке подложки. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | Гродненский государственный университет имени Янки Купалы | en_US |
| dc.subject | публикации ученых | en_US |
| dc.subject | математические модели | en_US |
| dc.subject | магнетронные распылительные системы | en_US |
| dc.subject | магнетронное распыление | en_US |
| dc.title | Моделирование нанесения тонкоплёночных слоёв коаксиальным магнетроном с цилиндрической мишенью на крупноформатные подложки | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| local.description.annotation | The article briefly describes the proposed mathematical model for calculating the thickness of deposited layers during reactive
magnetron sputtering using coaxial magnetrons with a cylindrical target and the results of its verification. | - |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
