https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/63544| Title: | Моделирование нанесения тонкоплёночных слоёв коаксиальным магнетроном с цилиндрической мишенью на крупноформатные подложки |
| Authors: | Александрович, П. А. Голосов, Д. А. Мельников, С. Н. |
| Keywords: | публикации ученых;математические модели;магнетронные распылительные системы;магнетронное распыление |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | Гродненский государственный университет имени Янки Купалы |
| Citation: | Александрович, П. А. Моделирование нанесения тонкоплёночных слоёв коаксиальным магнетроном с цилиндрической мишенью на крупноформатные подложки / П. А. Александрович, Д. А. Голосов, С. Н. Мельников // Физика конденсированного состояния : материалы ХХХIV Международной научно-практической конференции студентов, магистрантов, аспирантов и молодых учёных, Гродно, 23–24 апреля 2026 г. / Гродненский государственный университет имени Янки Купалы ; редкол.: А. С. Воронцов (гл. ред.) [и др.]. – Гродно, 2026. – С. 200–202. |
| Abstract: | Разработана математическая модель для расчета толщины наносимых слоев при реактивном магнетронном распылении коаксиальными магнетронами с цилиндрической мишенью. Данная модель базируется на интегрировании плотности распыленного потока с каждой точки зоны распыления и позволяет рассчитать скорость нанесения слоев и толщину покрытия в любой точке подложки. |
| Alternative abstract: | The article briefly describes the proposed mathematical model for calculating the thickness of deposited layers during reactive magnetron sputtering using coaxial magnetrons with a cylindrical target and the results of its verification. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/63544 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Aleksandrovich_Modelirovanie.pdf | 736.39 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.