https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64202| Title: | Формирование диэлектрических материалов на основе окисленного пористого кремния и оксида титана |
| Authors: | Белый, Г. В. Лопато, У. П. |
| Keywords: | материалы конференций;пористый кремний;оксид кремния;оксид титана;электрохимические осаждения;показатели преломления;оптические волноводы |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Белый, Г. В. Формирование диэлектрических материалов на основе окисленного пористого кремния и оксида титана / Г. В. Белый, У. П. Лопато // Радиотехника и электроника : сборник материалов 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 15–16 апреля 2026 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2026. – С. 226–227. |
| Abstract: | Показана возможность формирования диэлектрических материалов путем осаждения гидроксида титана в пористый кремний с последующим термическим окислением. Проанализированы особенности электрохимического осаждения гидроксида титана и заключено, что этот метод обеспечивает получение гидроксида титана как на поверхности, так и в каналах пор пористого кремния. Полученный в результате окисления такого материала диэлектрик представляет собой смесь оксидов кремния и титана и характеризуется увеличенным (до 1,590–1,630) показателем преломления, что делает его перспективным для создания канальных волноводов с низкими потерями в объемных микросборках электронных схем с оптическими соединениями. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/64202 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 62-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2026) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Belyj_Formirovanie.pdf | 606.46 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.