Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6481
| Title: | Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления |
| Authors: | Воробьева, А. И. |
| Keywords: | публикации ученых;электродные системы;углеродные нанотрубки;контактное сопротивление;контактные переходы |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | Российская академия наук |
| Citation: | Воробьева, А. И. Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления / А. И. Воробьева // Российская академия наук, Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН. – 2009 . – Т. 179, № 3. – С. 243–253. |
| Abstract: | Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл – углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6481 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.