Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6481
Title: | Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления |
Authors: | Воробьева, А. И. |
Keywords: | публикации ученых;электродные системы;углеродные нанотрубки;контактное сопротивление;контактные переходы |
Issue Date: | 2009 |
Publisher: | Российская академия наук |
Citation: | Воробьева, А. И. Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления / А. И. Воробьева // Российская академия наук, Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН . - 2009 . - Т. 179, № 3 .- С. 243 - 253. |
Abstract: | Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл – углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6481 |
Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.