| Title: | Алгоритм идентификации объектов топологии микросхем на микроскопных изображениях слоев топологии СБИС |
| Authors: | Питкин, А. Б. |
| Keywords: | материалы конференций;дескрипторы;ключевые точки;тестирование |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Питкин, А. Б. Алгоритм идентификации объектов топологии микросхем на микроскопных изображениях слоев топологии СБИС / А. Б. Питкин // Компьютерные системы и сети : материалы 52-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 25–30 апреля 2016 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Прытков [и др.]. – Минск, 2016. – С. 15–17. |
| Abstract: | В процессе производства сверхбольших интегральных микросхем (СБИС), возможно появление дефектов на
топологических слоях. Такие дефекты возникают например в процессе переноса изображения или в процессе
фотолитографии. Автоматический контроль качества позволит в кратчайшие сроки выявлять различные дефекты. Идея
заключается в поиске заданных шаблонов известных дефектов, либо шаблонов с изображением эталонов элементов на
значительно большем изображении представляющем собой снимок слоя готовой микросхемы. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/6930 |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 52-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2016)
|
