| Title: | Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии |
| Authors: | Титко, Е. А. |
| Keywords: | материалы конференций;фотолитография;топология |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Титко, Е. А. Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии / Е. А. Титко // Компьютерные системы и сети : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Прытков [и др.]. – Минск, 2013. – С. 98–99. |
| Abstract: | Рассмотрена прецизионная система перемещений, предназначенная для встраивания в установки автоматического контроля оригиналов топологии СБИС. Высокий уровень точности обеспечивается за счет применения датчиков
линейных перемещений на базе интерферометра с двухчастотным лазером. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7731 |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013)
|
