Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8364
Title: Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.)
Authors: Котов, Д. А.
Ясюнас, А. А.
Родионов, Ю. А.
Комар, О. М.
Keywords: отчеты о НИР;источник индуктивно-связанной плазмы;антенная система;индукционный разряд;плазмохимическое травление
Issue Date: 2012
Publisher: БГУИР
Citation: Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники ( заключительный ) : отчеты о НИР / БГУИР; научный руководитель Д. А. Котов; отв. исполнитель А. А. Ясюнас. – Минск, 2012. – 24 с. - № ГР 20110251
Series/Report no.: ГБЦ-10-1007;
Abstract: В работе выполнены исследования влияния конфигурации антенной системы источника индукционного разряда на параметры генерируемой плазмы. Подготовлена методика проведения эксперимента для снятия разрядных характеристик источника индукционного разряда. Выполнены исследования влияния конфигурации антенной системы источника индукционного разряда на параметры генерируемой плазмы. Рассчитан импеданс разрядной системы в зависимости от геометрии индуктора и плотности плазмы. Сняты зондовые характеристики плазмы индукционного разряда, получены зависимости плотности плазмы и температуры электронного газа от индуктивности антенной системы.
Gov't Doc #: № ГР 20110251
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8364
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2012

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20110251 (10-1007)_Рук_НИР_Котов.pdf
  Restricted Access
781.95 kBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.